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點(diǎn)擊數(shù):3642026-07-14 09:47:37 來(lái)源: 氧化鎂|碳酸鎂|輕質(zhì)氧化鎂|河北鎂神科技股份有限公司
半導(dǎo)體芯片制造的核心工序包含晶圓拋光、表面平坦化處理,晶圓表面的平整度、光潔度、無(wú)雜質(zhì)程度直接決定芯片良率,是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵質(zhì)控環(huán)節(jié)。高純超細(xì)氧化鎂憑借硬度適中、晶粒均勻、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、拋光精度高、無(wú)劃痕殘留的核心優(yōu)勢(shì),成為半導(dǎo)體單晶硅、多晶硅晶圓拋光的專用輔料,廣泛應(yīng)用于集成電路、功率半導(dǎo)體、傳感芯片的加工領(lǐng)域,屬于半導(dǎo)體制造配套材料。河北鎂神科技高純氧化鎂經(jīng)過(guò)多級(jí)提純、超細(xì)研磨,雜質(zhì)含量低、粒徑分布集中,完全契合半導(dǎo)體行業(yè)高純凈原料標(biāo)準(zhǔn)。

相較于傳統(tǒng)拋光輔料,高純氧化鎂粉體晶粒圓潤(rùn)均勻,拋光過(guò)程中不會(huì)對(duì)晶圓基底造成硬性劃傷、磕碰損傷,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超精拋光處理,去除晶圓表面細(xì)微凹凸、氧化層、微觀瑕疵,讓晶圓表面達(dá)到鏡面級(jí)平整效果,適配半導(dǎo)體納米級(jí)制程加工需求。同時(shí)原料化學(xué)惰性強(qiáng),拋光過(guò)程中不與硅基底、拋光液體系成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),無(wú)吸附殘留、無(wú)離子污染,可有效規(guī)避芯片漏電、性能衰減、壽命縮短等質(zhì)量隱患,保障半導(dǎo)體元器件性能穩(wěn)定、精度達(dá)標(biāo)、使用壽命長(zhǎng)效。
河北鎂神科技可定制半導(dǎo)體專用高純、超細(xì)窄分布氧化鎂,嚴(yán)格控制金屬離子雜質(zhì)、大顆粒雜質(zhì),適配全自動(dòng)晶圓拋光生產(chǎn)線與半導(dǎo)體無(wú)塵車間生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品批次一致性高、性能穩(wěn)定,可滿足集成電路、車載芯片、軍工半導(dǎo)體等高精度產(chǎn)品的加工需求,同時(shí)可為半導(dǎo)體材料企業(yè)提供拋光配方適配、工藝優(yōu)化技術(shù)支持,助力半導(dǎo)體制造提質(zhì)增效、突破加工技術(shù)壁壘。
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